江蘇芯夢/JSXM,成立于2019年8月,位于蘇州吳中經濟開發區,致力于提供襯底的制造、集成電路制造、先進封裝及大硅片制造領域濕法制造環節工藝設備的綜合解決方案。江蘇芯夢/JSXM,成立于2019年8月,位于蘇州吳中經濟開發區,致力于提供襯底的制造、集成電路制造、先進封裝及大硅片制造領域濕法制造環節工藝設備的綜合解決方案。
江蘇芯夢成立三年來高速發展,現有員工人數近300人,其中40%為技術研發人員,近3年營收復合增長率超100%。江蘇芯夢始終堅持創新,不斷攀登半導體濕法裝備技術高峰,自主研發的國內首臺全自動ENEPIG化學鍍設備目前市場占有率國內;自主研發的全自動FOUP清洗設備成功打破國外壟斷。芯夢半導體為您量身打造專業清洗解決方案!浙江半自動FOUP清洗機維修價格
優點
裝載晶圓直徑至200mm的花籃和片盒一或不同晶圓尺寸的花和片盒,同時可裝載晶圓直徑至300mm的前端開口片盒(Foup片盒)三種設備尺寸滿足客戶特殊需求
CleanStepl-用于4組花籃和片盒加載和清洗能力:每次4組花和片盒清洗產能:每小時12組花籃和片盒、>、CleanStepll-用于8組花籃和片盒加載和清洗能力:每次8組花籃和片盒清洗產能:每小時24組花籃和片盒
CleanStepIl-用于6組前端開口片盒(Foup)加載和清洗能力:每次6組前端開口片盒(Fup片盒)清洗產能:每小時18組前端開門片盒(Foup片盒)
適用于晶圓直徑至200mm的花籃和片盒的標準旋轉籠(CleanstepI/II)
適用于所有片盒一次清洗過程
或是同時4組花籃和片盒,或是12個花跨(CleanstepI/II)
簡單快捷的對不同尺寸的片盒和花籃進行切換
旋轉籠內的可旋轉載體方便加載或卸載花籃和片盒
通過控制系統對自鎖裝置的檢測,達到安全加載片盒和花籃,、江蘇半自動晶圓盒清洗機怎么收費江蘇芯夢設備采用先進技術,助你輕松提升產能!
FOUP內的水分可以通過以下方法進行去除:真空干燥:將FOUP放置在真空環境中,利用真空的負壓效應將FOUP內的水分蒸發。真空干燥可以有效地去除FOUP內的水分,但需要確保FOUP的密封性良好,以防止外部空氣進入。熱處理:將FOUP加熱至較高的溫度,使水分蒸發。熱處理可以利用熱能將水分從FOUP中驅除,但需要注意溫度選擇,以避免對FOUP材料或晶圓造成損害。干燥劑吸附:在FOUP內放置吸濕性較強的干燥劑,例如硅膠、分子篩等。這些干燥劑可以吸附FOUP內的水分,保持FOUP內的相對濕度較低。加熱通風:通過在FOUP周圍提供加熱通風系統,將溫暖的空氣引入FOUP內。熱空氣可以提高FOUP內的溫度,促進水分的蒸發,并通過通風系統將濕氣排出。氣體吹掃:使用干燥的氣體,例如壓縮空氣或氮氣,通過噴嘴或氣流吹掃的方式將FOUP內的水分帶走。氣體吹掃可以在FOUP內產生氣流,將水分從FOUP表面帶走。
應用領域:主要應用于半導體行業《晶四制造、集成電路、先進封裝,整個芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業、片盒制造廠;
適用于:Shipping boxes,如SEP、Integris、 Kakizaki DainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產品,可定制清洗從50mm到300mm品愿盒材料;
工作原理:本設備采用全自動方式,上料端/下料端可適配工廠自動傳檢線;將需要清潔的片盒放置在籃管內一傳輸機構依次將籃管傳到一級超聲清洗單元一一級噴洗單元一二級超聲清洗單元一二級嗎洗單元一一級干爆單元一二級干爆單元一下料單元一人工下料或對接工廠自動傳輸線。選擇我司設備,讓你的生產更加智能、自動化!
輔助功能和操作控制
觸摸屏安裝在前面一標準化
也可以通過安裝第二個觸摸屏在背面進行控制一選項
其他特征
工藝腔室內LED燈光照明
可安裝去靜電裝置和電陽率監測裝置選項
穩定、亞光不銹鋼籠子
材料的外殼一可選擇符合FM4910標準
PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標準
設備前面帶有滑動門一標準化為手動/可選擇自動
設備前面的滑動門在做維護時可完全打開
其他種類的花籃和片盒相適應的組件一選項圖形化的界面
易于操作和控制
10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
江蘇芯夢半導體設備有限公司的設備操作簡單,效率高,是你的生產利器!半自動片盒清洗機維修價格
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5大系統結構:
純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。
25組清洗:
工藝配方ProcessFormula,不同的Cassette靈活設定。
EN18822-H14:
高等級空氣過濾系統;超純水0.1um過濾,CDA0.03um過濾。
4寸~12寸全尺寸兼容,快速實現干進干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節拍,更大吞吐量。
2倉2基地:
蘇州+上海快速響應備件及現場技術服務壽命管理lifecycleManagement配備RFID數據讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統,方便客戶的數據管理Cassette使用情況浙江半自動FOUP清洗機維修價格
江蘇芯夢半導體設備有限公司在同行業領域中,一直處在一個不斷銳意進取,不斷制造創新的市場高度,多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準,在江蘇省等地區的機械及行業設備中始終保持良好的商業口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,和諧溫馨的工作環境,富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新,勇于進取的無限潛力,江蘇芯夢半導體設備供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰的準備,要不畏困難,激流勇進,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!